中国是否掌握了世界上最重要的机器?
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自2019年以来,美国一直阻止向中国出口极紫外光刻机(EUV),这些机器由荷兰公司ASML制造,是全球最先进的半导体制造设备。然而,最近美国商务部长霍华德·卢特尼克(Howard Lutnick)表示担忧,认为其中一台机器可能已经流入中国。ASML对此表示不可能,并称其生产的340台EUV机器中没有一台在中国。
荷兰政府也对美国的指控表示质疑。荷兰贸易部长谢尔德·谢尔德斯玛(Sjoerd Sjoerdsma)在6月底访问华盛顿时,试图说服美国官员荷兰严格执行出口管制。尽管如此,荷兰政府目前并未对美国的指控展开调查。
一些业内人士认为,ASML的旧款深紫外光刻机(DUV)及相关零部件可能已出口到中国,而这些大多不受出口管制。2025年,ASML对中国的DUV相关出口占其收入的约三分之一。
此外,关于中国在EUV机器研发方面的进展也引发关注。2025年,一支由前ASML工程师组成的中国团队在深圳完成了一台EUV机器的原型机,并正在进行测试。尽管尚未生产出有效芯片,但中国政府设定了到2028年实现这一目标的计划。
美国还担心中国在DUV技术上的创新使用。中国芯片公司如中芯国际(SMIC)和华为通过多重图案技术,利用DUV技术制造出小于七纳米的逻辑芯片,这一技术此前仅由EUV机器实现。